Thông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer EFEM
Kiểu
RSC131
Số lượng cổng
2 môn thể thao
Chuyển đối tượng
Tấm wafer 300mm: dia. 300 ± 0,2mm, Độ dày: 775μm
Vận chuyển
FOUB 25-slot 300mm (SEMI E47.1) FOSB 25-slot 300mm (SEMI M31)
Điện áp
AC một pha 200V đến 220 V ± 10%, 50 / 60Hz ± 5%
Tiêu thụ hiện tại / dt>
4kVA (20A / 200V AC) Bao gồm FFU
Chân không (áp suất nguồn)
-80kPa -90kPa
Chân không (tốc độ dòng chảy)
40L / phút
Áp lực dương (áp lực nguồn)
0,6MPa ～ 0,7MPa
Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
20L / phút
Đầu ra liên hệ EMO
2 hệ thống (tiếp xúc khô)
Khóa liên động
Đầu vào: 8 điểm / Đầu ra: 8 điểm (I / O cách điện)
Kiểu
RSC141
Số lượng cổng
3 môn thể thao
Chuyển đối tượng
Tấm wafer 300mm: dia. 300 ± 0,2mm, Độ dày: 775μm
Vận chuyển
FOUB 25-slot 300mm (SEMI E47.1) FOSB 25-slot 300mm (SEMI M31)
Điện áp
AC một pha 200V đến 220 V ± 10%, 50 / 60Hz ± 5%
Tiêu thụ hiện tại / dt>
4kVA (20A / 200V AC) Bao gồm FFU
Chân không (áp suất nguồn)
-80kPa -90kPa
Chân không (tốc độ dòng chảy)
50L / phút
Áp lực dương (áp lực nguồn)
0,6MPa ～ 0,7MPa
Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
30L / phút
Đầu ra liên hệ EMO
2 hệ thống (tiếp xúc khô)
Khóa liên động
Đầu vào: 8 điểm / Đầu ra: 8 điểm (I / O cách điện)
Kiểu
RSC151
Số lượng cổng
4 môn thể thao
Chuyển đối tượng
Tấm wafer 300mm: dia. 300 ± 0,2mm, Độ dày: 775μm
Vận chuyển
FOUB 25-slot 300mm (SEMI E47.1) FOSB 25-slot 300mm (SEMI M31)
Điện áp
AC một pha 200V đến 220 V ± 10%, 50 / 60Hz ± 5%
Tiêu thụ hiện tại / dt>
4kVA (20A / 200V AC) Bao gồm FFU
Chân không (áp suất nguồn)
-80kPa -90kPa
Chân không (tốc độ dòng chảy)
60L / phút
Áp lực dương (áp lực nguồn)
0,6MPa ～ 0,7MPa
Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
40L / phút
Đầu ra liên hệ EMO
2 hệ thống (tiếp xúc khô)
Khóa liên động
Đầu vào: 8 điểm / Đầu ra: 8 điểm (I / O cách điện)
Kích thước sản phẩm (RSC141)
Tùy chọn
Hệ thống giảng dạy tự động
Máy ion hóa
Bộ lọc hóa học
Bộ đệm trong
RF-ID và đầu đọc mã vạch
E84
Cổng tải với thanh lọc N2 / XCDA
Mặt dây chuyền giảng dạy
Tính năng sản phẩm
Hệ thống chuyển tốc độ cao được thực hiện bằng cách lắp robot sạch loại mới và trục theo dõi tuyến tính tốc độ cao. Kết nối với OHT và AGV có sẵn.
Thông lượng cao hơn có thể đạt được bằng cách gắn hai căn chỉnh.
Tương ứng với loại kẹp chân không và loại kẹp cạnh (tùy chọn).
Sử dụng tương thích các tác phẩm 200mm và 300mm (tùy chọn).