Thông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer cổng tải RV201-F07-0
Cung cấp năng lượng
DC24V ± 10% 6A
Không khí nén
0,5MPa đến 0,6MPa 10L / phút trở lên
Khoảng chân không
-60kPa đến -80kPa, 10L / phút trở lên
N2
-
Kích thước sản phẩm (RV201-F07-0)
Tùy chọn
Thông tin pad pin và pin lockout
RF-ID / Mã vạch
Tùy chỉnh đèn chỉ thị
Có sẵn cho E84
Có sẵn cho I / O bên ngoài
Thông số kỹ thuật truyền thông của RS232C
Tính năng sản phẩm
Model RV201-F07-0 là cổng tải tiêu chuẩn. Cơ chế đóng / mở ban đầu của RORZE được sử dụng, việc mở / đóng cửa FOUP được kiểm soát chính xác và hiệu suất làm sạch ở mức độ cao được thực hiện.
Có sẵn cho FOUP và FOSB cửa tự động như là một tiêu chuẩn.
Hiệu suất sạch cao đạt được nhờ cơ chế đóng / mở cửa ban đầu và kiểm soát chuyển động chính xác.