Tính năng của hệ thống xử lý Wafer Aligner RA420-48V-L
RA420-48V-L là bộ căn chỉnh có độ chính xác cao, có trục X và trục Y cho trục and và có cơ chế trục Z để bù vị trí wafer.
Thông lượng được cải thiện.
Độ chính xác cao (Độ chính xác notch: ± 0,05 °, Độ chính xác trung tâm: ± 0,05 mm).
Xử lý các tấm kính trong suốt và laminate.
Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm
Kích thước wafer
Dia. 100mm đến 200mm
Độ chính xác góc notch
± 0,05 đến ± 0,1 ° Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.
Trung tâm chính xác
± 0,05 đến ± 0,1mm Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.
Khoảng thời gian định vị
2.5 đến 6.5 giây Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.
Cung cấp năng lượng
24 V DC 4A
Phương thức giao tiếp
TCP / IP RS-232C cũng có sẵn dưới dạng tùy chọn
Kích thước sản phẩm (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)
