Tính năng của hệ thống xử lý Wafer Aligner RA321-C0C-BW
RA321-C0C-BW là loại căn chỉnh cạnh kẹp có trục kẹp, trục và trục Z. Phương pháp kẹp cạnh, kẹp ngoại vi bên ngoài của wafer, giảm thiểu việc tạo hạt.
Tốc độ cao và độ chính xác cao (Độ chính xác notch: ± 0,05 °, Độ chính xác trung tâm: ± 0,05mm)
Thông lượng của hệ thống được cải thiện (với bộ đệm).
Xử lý các tấm trong suốt (thủy tinh) và tấm mỏng có thể được xử lý bằng cách sử dụng cảm biến hình ảnh tùy ý.
Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm
Kích thước wafer
Dia. 300mm
Độ chính xác góc notch
± 0,05 đến ± 0,2 ° Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.
Trung tâm chính xác
± 0,05 đến ± 0,1mm Thay đổi theo chế độ căn chỉnh.
Khoảng thời gian định vị
4 đến 6,5 giây Thay đổi theo loại cảm biến và chế độ căn chỉnh.
Cung cấp năng lượng
24 V DC 4A
Phương thức giao tiếp
TCP / IP
Kích thước sản phẩm (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)
